韓國SK海力士1月10日表示，他們在半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中引入了人工智能(AI)解決方案，提高生產(chǎn)效率和良品率的。

SK海力士從去年12月開始在部分半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠引進(jìn)了人工智能解決方案“panoptis VM”。這一系統(tǒng)可以利用傳感器數(shù)據(jù)預(yù)測制造工程結(jié)果。用于制造微電子器件的薄膜的厚度和折射率與半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量直接相關(guān)，但要想在細(xì)微的薄膜中測量這些，需要很多時間和資源，因此很難全部進(jìn)行測量。

為解決這一問題，SK海力士引入的是Gauss實(shí)驗室開發(fā)的名為“Panoptes VM”的虛擬測量人工智能解決方案，這一方案通過傳感器的數(shù)據(jù)來預(yù)測生產(chǎn)過程的結(jié)果。

SK海力士的制造、技術(shù)副總經(jīng)理金永植表示：“我們正在致力于實(shí)現(xiàn)更加智能化的工廠。在半導(dǎo)體開發(fā)及生產(chǎn)流程上引入AI技術(shù)，將持續(xù)確保技術(shù)優(yōu)勢?！?/span>

SK海力士目前是將Gauss實(shí)驗室的人工智能解決方案，引入到了薄膜沉積這一工藝中。薄膜沉積是將薄膜覆蓋到晶圓上的關(guān)鍵工藝，薄膜的厚度和反射率直接關(guān)系到半導(dǎo)體的質(zhì)量，但由于薄膜非常薄且小，測量每塊晶圓上的薄膜就需要大量的時間及資源。

在報道中提到，在引入Gauss實(shí)驗室的“Panoptes VM”人工智能解決方案后，SK海力士在提高產(chǎn)量的同時，該系統(tǒng)取得了平均改善21.5%的產(chǎn)品質(zhì)量參數(shù)的效果。

Gauss實(shí)驗室專注于工業(yè)人工智能，SK海力士對這一實(shí)驗室也進(jìn)行了投資，在“Panoptes VM”在薄膜沉積工藝這一環(huán)節(jié)發(fā)揮作用之后，SK海力士和Gauss實(shí)驗室預(yù)計會將這一人工智能解決方案用于更多的工藝環(huán)節(jié)。